美國(guó)ALICAT 流量控制器  MCQ-5SLPM-D 高壓氣體質(zhì)量流量控制器

MCQ –高壓氣體質(zhì)量流量控制器

高壓應(yīng)用中的響應(yīng)氣流控制

MCQ流量控制器可為需要更高管路壓力（160-320 psia）的應(yīng)用提供標(biāo)準(zhǔn)控制器的快速控制響應(yīng)。這種高壓質(zhì)量流量控制器即使在出現(xiàn)壓力峰值時(shí)也能迅速達(dá)到新的設(shè)定值并保持在該位置。我們將使用您的應(yīng)用程序參數(shù)來(lái)自定義閥門和PID調(diào)整，以確保其提供快速穩(wěn)定的控制。

Alicat的MCQ系列使用小型比例閥以較低的流量進(jìn)行控制，適用于  非腐蝕性氣體。

可測(cè)量程范圍0-5000SLPM 0-10SCCM

最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：305 psig（320 psia）

耐壓力：400 psig（415 psia）

兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預(yù)裝的可選氣體校準(zhǔn)